2inch 4inch 6inch 8Inchの炭化ケイ素のウエファーSicのウエファーの模造の研究の主な等級
指定
炭化ケイ素の利点
硬度
従来のシリコン基板上の炭化ケイ素の使用へ多数の利点がある。主要な利点の1つは硬度である。これは材料に高速、高温や高圧適用の多くの利点を、与える。
炭化ケイ素のウエファーに平均が1ポイントから別の井戸に熱を移すことができる高い熱伝導性がある。これは電気伝導率および最終的に小型化、SiCのウエファーへの転換の共通のゴールの1を改善する。
熱機能
熱衝撃に抗力が高い。これはそれらに壊れるか、または割れないでことを温度を急速に変える機能があることを意味する。これは従来のバルク ケイ素と比較して炭化ケイ素の寿命そして性能を改善するのはもう一つの靭性の特徴であるので装置を製造するとき明確な利点を作成する。
産業鎖
炭化ケイ素SiCの産業鎖は基質の物質的な準備、エピタキシアル層の成長、装置製造業および下流の適用に分けられる。炭化ケイ素のモノクリスタルは通常物理的な蒸気伝達(PVT方法)によって準備され、それからエピタキシアル シートは化学気相堆積(CVD方法)によって基質で発生し、関連した装置は最終的になされる。基質の製造技術の難しさによるSiC装置の産業鎖では産業鎖の価値は上流の基質リンクに主に集中される。
ZMSHの会社は提供する100mmおよび150mm SiCのウエファーを提供する。硬度(SiCは世界の第2最も堅い材料である)および熱および高圧流れの下の安定性によって、この材料は複数の企業で広く利用されている。
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FAQ
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